气相法通常需要在高温、溶浆机惰性气体氛围中进行，适用于制备金属、半导体、碳化物、氮化物和氧化物等以易升华物质为原料的纳米微粒、一维纳米材料和纳米阵列、纳米薄膜。大多数气相法属于物理法，但也有部分属于气相化学反应。 （１）真空蒸发冷凝法 此方法是在高纯惰性气氛中（氩、氦、氮等），对物质进行真空加热蒸发，蒸气在气体介质中冷凝形成超细微粒。在蒸发过程中，由原物质发出的原子由于与惰性气体原子碰撞，使之迅速损失能量而冷却，这种有效的冷却过程在原物质蒸气中造成很高的局域过饱和，这将导致均匀的成核过程，形成单个纳米微粒。这种方法适用于制备金属、过渡金属氮化物、易升华离子化合物和氧化物等材料的纳米微粒。１９８４年Ｇｌｅｉｔｅｒ制备金属纳米粒子即用此法。该法得到的纳米微粒经过高压压制成型，可以得到三维纳米块材料，如１９８７年Ｓｉｅｇｌｅｓ用该法成功制备了ＴｉＯ纳米陶瓷。２ （２）活性氢熔融金属法 含有氢气的等离子体与金属间产生电弧，使金属熔融，电离的Ｎ、Ａｒ等气体和Ｈ溶入熔融金属，然后
释放出来，在气体中形２２成了金属的纳米粒子。此法也可应用于制备纳米陶瓷粒子。 （３）溅射法 此法是在阴阳电极间充Ａｒ气，然后施加电压，由于电极间的辉光放电使Ａｒ电离，在电场作用下Ａｒ离子冲击阴极，使其表面原子蒸发出来形成纳米粒子。适合制备各种熔点和多元组分的金属纳米微粒。此法也适合制备各种纳米镶嵌薄膜。 （４）流动液面上真空蒸度法 该法的原理是在高真空中蒸发的金属原子在流动的油内形成纳米粒子。产品为含大量纳米粒子的糊状油。该法制备的金属纳米粒子尺寸分布较窄并可调。 （５）通电加热蒸发法 此法适合于制备金属碳化物。原理是通过在惰性气氛下，碳棒与金属相接触，加热使金属熔化，再与高温碳发生反应生成。 （６）激光诱导化学气相沉积（ＬＩＣＶＤ） 这种方法的基本原理是利用反应气体分子（或光敏剂分子）对特定波长激光束的吸收，引起反应气体分子激光光 ４３２第十一章 现代化学应用讲座 解、激光热解、激光光敏化和激光诱导化学合成反应，在一定工艺条件下，获得纳米粒子空间成核和生长。
该法具有清洁表面、粒子大小可调、粒度分布均匀等优点，适合于制备晶态或非晶态纳米微粒。 （７）爆炸丝法 这种方法适用于工业上连续生产纳米金属、合金和金属氧化物纳米微粒，原理是融断的金属丝在高压电场内放电形成蒸气，在惰性气体碰撞下形成纳米微粒，这里的金属丝可以通过供丝系统进行半连续生产。 （８）化学气相凝聚法 此法是通过前驱物金属有机分子热解获得纳米微粒。利用惰性载气携带金属有机前驱物进入高温炉，使炉内保持低压状态，原料热解形成团簇，进而形成纳米微粒。如以碳氢化合物为原料，则通过热解也可以得到碳纳米管。 （９）电弧放电法 １９９９１年Ｉｉｊｉｍａ首次制备多壁碳纳米管使用的就是用碳棒做电极进行直流电弧放电的方法。以后有人以Ｆｅ或Ｃｏ为催化剂通过该法又合成了单壁碳纳米管，在此以后，单壁碳纳米管的阵列也由该法制备出。 （１０）碳纳米管模板法 该法是以碳纳米管为模板，通过与高温气体的反应，合成多种碳化物和氮化物的一维纳米材料。１９９５年哈佛大学的戴宏杰提出了使用该法制备一维纳米线的普适反应模式。
